德國倍加福P+F電感式壓力傳感器
壓力傳感器分為四種型號,即 電阻 應(yīng)變式壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、壓電式壓力傳感器和電感式壓力傳感器。其中:
電阻應(yīng)變式壓力傳感器,主要是通過電阻應(yīng)變片感應(yīng)傳感器內(nèi)的彈性敏感元件在外壓作用下的變形來實現(xiàn)工作的。此類壓力傳感器有分為膜片式壓力傳感器、膜片-應(yīng)變筒式壓力傳感器和應(yīng)變筒式壓力傳感器三種,其中,膜片式壓力傳感器主要是在低壓力測量中應(yīng)用,膜片-應(yīng)變筒式壓力傳感器主要是在中等壓力測量中應(yīng)用,應(yīng)變筒式壓力傳感器則主要是在高壓力測量時使用;
壓阻式壓力傳感器,主要采用了集成電路擴(kuò)散工藝制作電阻感應(yīng)裝置,再加上使用更加靈敏的硅片作為彈性敏感元件,其他與電阻應(yīng)變式壓力傳感器類似。此類壓力傳感器具有較高的靈敏度和測量精度的特點,另外就是其結(jié)構(gòu)較為簡單,為傳感器的微型化提供了方便。但是此類壓力傳感器具有較多的缺點,如測量范圍小、容易受到測量環(huán)境影響等;
壓電式壓力傳感器,主要是應(yīng)用了壓電材料的*性能——壓電效應(yīng)。此類壓力傳感器的優(yōu)缺點也較為明顯,優(yōu)點是其環(huán)境適應(yīng)能力較強,可以在惡劣的環(huán)境中正常工作,而且溫度感應(yīng)較為靈敏;缺點是其低頻性能較差,而且傳感器在使用過程中出現(xiàn)故障后較難維修;
電感式壓力傳感器,其實就是將測量的壓力的變化量轉(zhuǎn)換為對應(yīng)的電感變化量,然后反應(yīng)出來。此類壓力傳感器靈敏度高,而且傳感器內(nèi)部的壓力變換器的線性得到了較大的改善,使其工作更加可靠。
德國倍加福P+F電感式壓力傳感器
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